2025-08-16 05:24:01 6次浏览
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ITO靶材的核心用途是在磁控溅射工艺中作为“溅射源”。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,通过高能离子轰击靶材表面,使靶材原子被“敲击”出来,终沉积在基板上,形成一层均匀的ITO薄膜。这层薄膜厚度通常在几十到几百纳米之间,却能同时实现导电和透光的功能。
目前,ITO靶材的制备主要有两种常见方法:热压烧结法和冷等静压法。
热压烧结法
工艺流程:将氧化铟和氧化锡粉末按比例混合后,放入模具,在高温(1000-1500°C)和高压(几十到几百兆帕)下压制成型。高温使粉末颗粒熔融结合,形成致密的靶材结构。
优点:这种方法制备的靶材密度接近理论值(通常超过99%),晶粒分布均匀,适合高精度镀膜需求。
缺点:设备复杂,能耗高,生产成本较高。
适用场景:高端电子产品,如智能手机、平板电脑的显示屏制造。
在智能手机、平板电脑、超清电视的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化铟锡)是赋予其透明导电魔力的核心材料。作为ITO靶材的关键成分,铟(In)的稳定供应直接关系到全球万亿级显示产业的命脉。然而,这种稀散金属的地缘分布不均(中国储量占全球70%以上)和原生矿产的有限性,使得铟的回收再利用不再是环保课题,更成为保障产业、实现供应链韧性的“闭环”革命。
技术破局:从粗放走向精纯
现代铟回收工艺已形成精细链条:
预处理与富集:机械破碎液晶屏 → 高温焚烧去除有机物 → 酸溶浸出(常用硫酸/盐酸),将铟等金属转入溶液。
深度分离提纯(核心技术):
溶剂萃取法:利用特定有机溶剂(如P204)选择性“捕获”溶液中的铟离子,实现与铁、锌、锡等杂质的深度分离,富集倍数可达千倍。
离子交换法:功能树脂吸附铟离子,适用于低浓度溶液提纯。
电解沉积:对富铟溶液通电,在阴极析出粗铟。
高纯精炼:对粗铟进行真空蒸馏、区域熔炼等,去除微量杂质(如镉、铅),产出纯度高达99.99%(4N)以上的精铟,满足高端ITO靶材要求。
绿色升级:循环经济的必由之路
相比开采原生矿(主要来自锌冶炼副产品),从电子垃圾中回收铟具有显著优势:
资源保障:1吨废弃液晶面板可提取200-300克铟,品位远超原矿。
节能减排:回收能耗仅为原生铟生产的1/3,大幅降低碳排放。
环境友好:减少电子垃圾填埋污染,避免采矿生态破坏。
经济可行:铟价高企(曾超1000美元/公斤)赋予回收强劲动力。